KARAKTERISASI DAN PEMBUATAN FILM TIPISBARIUM STRONTIUM TITANAT Ba0,7Sr0,3TiO3 (BST)MENGGUNAKAN METODE SOL-GEL

Abstract

Telah dilakukan penelitian film tipis Barium Strontium Titanat (BST) dengan komposisi , , menggunakan metode sol-gel dan di annealing pada suhu 600o C dan 650o C selama 1 jam. Film tipis BST tersebut dikarakterisasi menggunakan Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) dan Spektroskopi Impedansi. Hasil dari karakterisasi FESEM untuk sampel pada suhu 600o C dan 650o C masing-masing ketebalannya sebesar 46 nm dan 141 nm. Hasil dari karakterisasi Spektroskopi Impedansi yang diberikan nilai frekuensi, diperoleh nilai impedansi real dan impedansi imajiner. Nilai kapasitansi dari film tipis BST pada suhu 600o C dan 650o C masingmasing sebesar 75,46 F dan 154,69 F. Nilai konstanta dielektrik dari film tipis BST pada suhu 600o C dan 650o C masing-masing sebesar 23,98 dan 148,40.